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中国科学院半导体研究所 1093 半导体超晶格国家重点实验室 345 中国科学院半导体研究所（2009年前） 264
中科院半导体材料科学重点实验室 196 光电子研究发展中心 136 中科院半导体照明研发中心 61
集成光电子学国家重点实验室 30 半导体集成技术工程研究中心 19 固态光电信息技术实验室 14
纳米光电子实验室 10 全固态光源实验室 7 光电系统实验室 5
高速电路与神经网络实验室 3 科半公司 2 高性能集成电路实验室 1