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中国科学院半导体研究所 264 半导体超晶格国家重点实验室 100 中国科学院半导体研究所（2009年前） 80
光电子研究发展中心 24 中科院半导体材料科学重点实验室 23 集成光电子学国家重点实验室 15
高速电路与神经网络实验室 7 全固态光源实验室 5 中科院半导体照明研发中心 4
半导体集成技术工程研究中心 2 半导体人工神经网络实验室 2 纳米光电子实验室 1
高性能集成电路实验室 1