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中国科学院半导体研究所 69 中国科学院半导体研究所（2009年前） 55 集成光电子学国家重点实验室 7
半导体材料科学中心 3 光电子器件国家工程中心 1 中科院半导体材料科学重点实验室 1
半导体集成技术工程研究中心 1 纳米光电子实验室 1