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限定条件 ((收录类别：SCI) AND (发表日期：2021) AND (专题：半导体集成技术工程研究中心 ))
共14条，第1-14条
MICROMACHINES 3 ACTA PHYSICA SINICA 2 ACS OMEGA 1
AIP ADVANCES 1 APPLIED OPTICS 1 CHINESE PHYSICS B 1
IEEE ACCESS 1 JOURNAL OF ELECTRONI 1 JOURNAL OF MATERIALS 1
MATERIALS 1 MATERIALS SCIENCE IN 1 NANO ENERGY 1
NANOSCALE RESEARCH L 1 OPTICAL MATERIALS EX 1