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中国科学院半导体研究所 852 中国科学院半导体研究所（2009年前） 287 中科院半导体材料科学重点实验室 137
半导体超晶格国家重点实验室 115 光电子研究发展中心 69 光电系统实验室 47
集成光电子学国家重点实验室 46 中科院半导体照明研发中心 37 纳米光电子实验室 27
半导体集成技术工程研究中心 21 高速电路与神经网络实验室 15 半导体材料科学中心 13
半导体人工神经网络实验室 12 光电子器件国家工程中心 10 固态光电信息技术实验室 10
全固态光源实验室 4 北京纳米能源与系统研究所 2