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中国科学院半导体研究所 163 中国科学院半导体研究所（2009年前） 150 集成光电子学国家重点实验室 5
纳米光电子实验室 5 光电子器件国家工程中心 1 中科院半导体照明研发中心 1
高性能集成电路实验室 1