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Chinese Academy of S 1 Institute of Semicon 1 National Hi-Tech Res 1
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中国科学院科研装备研制项目 1 国家863计划,中国科学院知识创新工程重 1 国家863计划,国家科技支撑计划资助课题 1
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国家自然科学基金项目,高等学校博士学科点 1 科技部中美国际科技合作计划基金资助项目, 1