Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 一种立方氮化硼薄膜n型掺杂的方法 | |
张兴旺 ; 范亚明; 陈诺夫
| |
| 2009-05-27 | |
| 专利权人 | 中科院半导体研究所 |
| 公开日期 | 3996 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2007-11-21 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN200710177783 |
| 专利代理人 | 汤宝平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9152 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张兴旺,范亚明,陈诺夫 . 一种立方氮化硼薄膜n型掺杂的方法[P]. 2009-05-27. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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