Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法 | |
赵永梅; 孙国胜; 刘兴昉 ; 王 亮; 王 雷; 赵万顺; 李晋闽; 曾一平
| |
| 2009-05-27 | |
| 专利权人 | 中科院半导体研究所 |
| 公开日期 | 3996 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2007-11-21 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN200710177781.1 |
| 专利代理人 | 汤宝平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9150 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵永梅,孙国胜,刘兴昉,等. 图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法[P]. 2009-05-27. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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