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| 自离子注入硅波导光吸收的研究 | |
| 曾凡平 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 韩培德 |
| 2009 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学科领域 | 物理电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-04-13 ; 2009-09-10 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6252 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾凡平. 自离子注入硅波导光吸收的研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2009. |
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