高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法
王晓峰; 段垚; 崔军朋; 曾一平
2008-09-24
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2007-03-21
语种中文
申请号CN200710064591.9
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4207
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
王晓峰,段垚,崔军朋,等. 高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法[P]. 2008-09-24.
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