Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法 | |
王晓峰; 段垚; 崔军朋; 曾一平 | |
2008-09-24 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2007-03-21 |
语种 | 中文 |
申请号 | CN200710064591.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4207 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓峰,段垚,崔军朋,等. 高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法[P]. 2008-09-24. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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