Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
与标准集成电路工艺兼容的硅基DBR激光器及其工艺 | |
陈弘达; 刘海军; 高鹏; 顾明 | |
2007-04-04 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2005-09-28 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200510105261 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3711 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈弘达,刘海军,高鹏,等. 与标准集成电路工艺兼容的硅基DBR激光器及其工艺[P]. 2007-04-04. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
200510105261.pdf(534KB) | 限制开放 | -- | 请求全文 |
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