与标准集成电路工艺兼容的硅基DBR激光器及其工艺
陈弘达; 刘海军; 高鹏; 顾明
2007-04-04
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2005-09-28
语种中文
申请号200510105261
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3711
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈弘达,刘海军,高鹏,等. 与标准集成电路工艺兼容的硅基DBR激光器及其工艺[P]. 2007-04-04.
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