Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 真空镀膜机加热装置 | |
| 路秀真; 常秀兰; 刘峰奇; 王占国 | |
| 2005-07-06 | |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请日期 | 2004-07-13 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | CN200420077769.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3315 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 路秀真,常秀兰,刘峰奇,等. 真空镀膜机加热装置[P]. 2005-07-06. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 200420077769.pdf（255KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
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