光波导器件端面抛光装置
李健; 王红杰; 胡雄伟; 李建光; 王启明
2003-12-31
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期2003-02-24
语种中文
申请号CN03203361.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3301
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
李健,王红杰,胡雄伟,等. 光波导器件端面抛光装置[P]. 2003-12-31.
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