在解理面上制作半导体纳米结构的方法
陈涌海; 张春玲; 崔草香; 徐波; 金鹏; 刘峰奇; 王占国
2006-01-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-07-20
语种中文
申请号CN200410069295.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3171
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈涌海,张春玲,崔草香,等. 在解理面上制作半导体纳米结构的方法[P]. 2006-01-25.
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