| 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 | |
| 梅书哲 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 王晓亮 |
| 2018-06-02 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Keyword | Mocvd 感应加热 温度均匀性 流场温场 建模仿真 |
| Subject Area | 半导体材料 ; 半导体器件 |
| Date Available | 2018-06-11 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28543 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 梅书哲. 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制[D]. 北京. 中国科学院大学,2018. |
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| 2018.6-毕业论文.pdf（20542KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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