| 一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 | |
| 杨晋玲; 吕兴东; 魏伟伟; 张金英; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-22 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2015-07-06 |
| Application Number | CN201510388715.3 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27511 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 杨晋玲,吕兴东,魏伟伟,等. 一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器（425KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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