SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
Si衬底上GaN薄膜的生长方法及复合GaN薄膜
刘波亭; 马平; 郭仕宽; 甄爱功; 张烁; 吴冬雪; 王军喜; 李晋闽
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-09-22
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2015-08-17
申请号CN201510504913.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27477
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
刘波亭,马平,郭仕宽,等. Si衬底上GaN薄膜的生长方法及复合GaN薄膜.
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