Si衬底上GaN薄膜的生长方法及复合GaN薄膜 | |
刘波亭; 马平; 郭仕宽; 甄爱功; 张烁; 吴冬雪; 王军喜; 李晋闽 | |
专利权人 | 中国科学院半导体所 |
公开日期 | 2016-09-22 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 半导体器件 |
申请日期 | 2015-08-17 |
申请号 | CN201510504913.1 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27477 |
专题 | 中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘波亭,马平,郭仕宽,等. Si衬底上GaN薄膜的生长方法及复合GaN薄膜. |
条目包含的文件 | ||||||
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Si衬底上GaN薄膜的生长方法及复合Ga(333KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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