大失配体系硅基无位错异质外延方法 | |
张大林; 李传波; 刘智; 张东亮; 成步文; 王启明 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
Date Available | 2016-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 光电子学 |
Application Date | 2014-10-09 |
Application Number | CN201410526725.4 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27288 |
Collection | 光电子研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张大林,李传波,刘智,等. 大失配体系硅基无位错异质外延方法. |
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