InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究 | |
李慧梅 | |
Subtype | 硕士 |
Thesis Advisor | 陈良惠 ; 宋国峰 |
2016-05-30 | |
Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
Place of Conferral | 北京 |
Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
Keyword | Ingaas/inp Apd Ingaas/inalas Apd 增益 暗电流 击穿电压 扩散zn掺杂 |
Subject Area | 半导体器件 |
Date Available | 2016-06-02 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27157 |
Collection | 纳米光电子实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李慧梅. InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016. |
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InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺(3836KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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