| 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法 | |
| 王建霞; 李志伟; 赵桂娟; 桑玲; 刘长波; 魏鸿源; 焦春美; 杨少延; 刘祥林; 朱勤生; 王占国 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-12-26 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 半导体材料 |
| 申请日期 | 2012-09-05 |
| 申请号 | CN201210325765.3 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25328 |
| 专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王建霞,李志伟,赵桂娟,等. 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
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| 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的（391KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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