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激光光束匀化装置
曾华林; 何军; 李丽艳; 范松涛; 佟有万; 雷平顺; 周燕
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-12-12
授权国家中国
专利类型发明
学科领域光电子学
申请日期2012-08-27
申请号CN201210309070.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25276
专题光电系统实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
曾华林,何军,李丽艳,等. 激光光束匀化装置.
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