| 垂直耦合光学接口硅基片上光互连器件及其集成芯片研究 | |
| 张赞允 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 陈弘达 |
| 2014-05-24 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 关键词 | 硅基光电子 光栅耦合器 硅基电光调制器 锗波导探测器 硅基单片光电子互连链路 |
| 学科领域 | 光电子学 |
| 公开日期 | 2014-05-27 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25008 |
| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张赞允. 垂直耦合光学接口硅基片上光互连器件及其集成芯片研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2014. |
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