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低密度InAs/GaAs量子点生长及其单光子源器件工艺研究 | |
李密锋 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 牛智川 |
2013-05-24 | |
学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
学位授予地点 | 北京 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
关键词 | 单光子源 自组织量子点 低密度 耦合 分子束外延 梯度分布 微区光谱 微柱形微腔 |
学科领域 | 半导体材料 ; 半导体器件 |
公开日期 | 2013-06-03 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24135 |
专题 | 半导体超晶格国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李密锋. 低密度InAs/GaAs量子点生长及其单光子源器件工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2013. |
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