一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法; 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法 | |
郑婉华; 马传龙; 范学东; 渠红伟; 彭红玲; 王海玲; 马绍栋 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 本发明涉及晶体材料处理技术领域,公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法,包括:在铁电晶体材料上施加高脉冲电压,将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体;以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合,完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。利用本发明可制备出大厚度的周期极化铁电晶体材料。 |
metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
Patent Number | CN102321920A |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201110241438.5 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23448 |
Collection | 纳米光电子实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 郑婉华,马传龙,范学东,等. 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法, 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法. CN102321920A. |
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一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法(574KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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