| 多级高精度微位移传感器探头; 多级高精度微位移传感器探头 | |
| 王欣; 谢亮; 鞠昱; 刘宇; 漆晓琼; 孙可; 满江伟; 袁海庆; 祝宁华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种多级高精度微位移传感器探头,其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套,该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体,在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔,所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110025009.4 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23431 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王欣,谢亮,鞠昱,等. 多级高精度微位移传感器探头, 多级高精度微位移传感器探头. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 多级高精度微位移传感器探头.pdf（221KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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