| 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法; 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 |
| 许兴胜; 高永浩; 李成果
|
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
|
| 公开日期 | 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
|
| 授权国家 | 中国
|
| 专利类型 | 发明
|
| 摘要 | 一种电控可调谐光子晶体波分复用器,包括：一薄金属透明电极层；一聚合物层,位于薄金属透明电极层的下方；一顶层硅层,该顶层硅层的上面开有光子晶体孔阵列,该顶层硅层位于聚合物层的下方；一二氧化硅层,为环状结构,位于顶层硅层下面的四周,使二氧化硅层不遮挡光子晶体孔阵列；一衬底硅层,为环状结构,位于环状二氧化硅层的下面。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
|
| 语种 | 中文
|
| 专利状态 | 公开
|
| 申请号 | CN201110406571.1
|
| 文献类型 | 专利
|
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23418
|
| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
许兴胜,高永浩,李成果. 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法, 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论