超饱和硫掺杂硅材料的激光制备及其光电器件研究
刘德伟
学位类型博士
导师朱洪亮 ; 陈明华
2012
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域半导体材料
公开日期2012-06-18
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23160
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
刘德伟. 超饱和硫掺杂硅材料的激光制备及其光电器件研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2012.
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