CMOS 工艺兼容的硅基光电子集成回路关键技术研究 | |
王伟 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 陈弘达 |
2011 | |
学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
学位授予地点 | 北京 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科领域 | 微电子学 |
公开日期 | 2011-06-03 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20760 |
专题 | 集成光电子学国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王伟. CMOS 工艺兼容的硅基光电子集成回路关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011. |
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