Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 减压薄层硅外延片的研制 | |
| 梁骏吾; 郭钟光; 邓礼生; 刘素英; 郑红军 | |
| 获奖类别 | 院科技进步奖 |
| 获奖等级 | 三等奖 |
| 1996 | |
| 关键词 | 硅外延 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11090 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁骏吾,郭钟光,邓礼生,等. 减压薄层硅外延片的研制. 1996. |
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