学科主题半导体材料
硅单晶次缺陷图集
张一心; 蔡田海; 高维滨
获奖类别北京市科技进步奖
获奖等级二等奖
1987
关键词硅单晶
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10960
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张一心,蔡田海,高维滨. 硅单晶次缺陷图集. 1987.
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