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一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-17
发明人:  梁平;  胡颖;  刘俊岐;  刘峰奇;  王利军;  张锦川
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量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-17
发明人:  梁平;  胡颖;  刘俊岐;  刘峰奇;  王利军;  张锦川
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用于超薄半导体芯片接触式曝光的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-07-10
发明人:  梁平;  胡颖;  刘俊岐;  刘峰奇;  王利军;  张锦川;  王涛;  姚丹阳;  王占国
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带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-29
发明人:  胡永正;  刘峰奇;  王利军;  张锦川;  赵立华;  王占国
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制备高选择比量子级联激光器脊波导结构的湿法腐蚀方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  梁平;  刘峰奇;  张锦川;  闫方亮;  胡颖;  王利军;  刘俊岐;  王占国
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