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4H-SiC快速外延生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  刘斌
Adobe PDF(5500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1066/52  |  提交时间：2015/06/02
4h-sic  碳化硅  快速外延生长  Fast Epitaxial Growth