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一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈少武;  刘敬伟;  余金中
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宽频域的硅基微机械可调谐光滤波器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-06-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  左玉华;  毛容伟;  王良臣;  成步文;  余金中;  王启明
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CMOS电路与MEMS微电极的单片集成化方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-02-21, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈弘达;  隋晓红;  裴为华
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