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集成光波导马赫－泽德干涉型传感芯片的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
发明人:  姜婷;  吴远大;  王玥;  安俊明;  李建光;  王红杰;  胡雄伟
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