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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研究... [1]
作者
杨少延 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [1]
语种
中文 [1]
出处
真空科学与技术学报 [1]
资助项目
收录类别
CSCD [1]
资助机构
国家973资助项目,... [1]
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无权访问的条目
期刊论文
作者:
刘志凯
;
周剑平
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柴春林
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杨少延
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宋书林
;
李艳丽
;
陈诺夫
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提交时间：2010/11/23
