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热氧化方法改善硅干法刻蚀波导的表面粗糙度 期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 11, 页码: 1544-1548
Authors:  陈媛媛;  夏金松;  樊中朝;  余金中
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ICP刻蚀参数对SOI脊形波导侧壁粗糙度的影响 期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 11, 页码: 1500-1504
Authors:  樊中朝;  余金中;  陈少武;  杨笛;  严清峰;  王良臣
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