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作者:  袁丽娜;  任鲁风;  李运涛;  韩伟静;  俞勇;  楚亚男;  刘贵明;  于丹;  滕明静;  王亮;  王绪敏;  周晓光;  俞育德;  于军
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SOI亚微米脊型光波导倒锥耦合器免刻蚀氧化制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910242349.5, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  陈少武;  程勇鹏;  任光辉;  樊中朝
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脊型光波导和倒锥耦合器集成的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910093176.5, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  陈少武;  程勇鹏;  任光辉
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