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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Guo, Zhiyu; Jia, Lu; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb) | 收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2022/07/26 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Tianzhao Bu; Liang Xu; Zhiwei Yang; Xiang Yang; Guoxu Liu; Yuanzhi Cao; Chi Zhang ; Zhong Lin Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Ming Yang Lv; Hai Yan Teng; Zhao Yang Chen; Yong Mei Zhao; Xin Zhang; Luo Liu; Zhenglong Wu; Li Min Liu; Hai Jun Xu
Adobe PDF(2724Kb) | 收藏 | 浏览/下载：327/1 | 提交时间：2016/04/08 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Li, Y.Q.; Wang, X.D.; Xu, X.N.; Liu, W.; Yang, F.H.; Zeng, Y.P.; Wang, X.D.(xdwang@semi.ac.cn)
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| 一种挡光式微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 吕兴东; 魏伟伟; 杨晋玲; 杨富华
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| 阵列型微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 吕兴东; 魏伟伟; 杨晋玲; 杨富华
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| 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人: 毛旭; 魏伟伟; 吕兴东; 杨晋玲; 杨富华
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| ICP干法刻蚀工艺制备剖面为正梯形的台面的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-08-21
发明人: 徐晓娜; 胡传贤; 樊中朝; 王晓东; 杨富华
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