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a-SiN_x∶H薄膜退火前后微结构的Raman谱研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2000, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 238
Authors:  岳瑞峰;  王燕;  韩和相;  廖显伯
Adobe PDF(201Kb)  |  Favorite  |  View/Download:789/213  |  Submit date:2010/11/23