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一种挡光式微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人:  毛旭;  吕兴东;  魏伟伟;  杨晋玲;  杨富华
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阵列型微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人:  毛旭;  吕兴东;  魏伟伟;  杨晋玲;  杨富华
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一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人:  毛旭;  魏伟伟;  吕兴东;  杨晋玲;  杨富华
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一种快速射频微机械开关 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-08-01
发明人:  朱银芳;  魏伟伟;  毛旭;  杨晋玲;  杨富华
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晶圆级光刻机键合方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  毛旭;  赵永梅;  杨香;  黄亚军;  季安;  白云霞;  王晓东;  杨富华
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