|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽
 Adobe PDF(346Kb) |  收藏 | 浏览/下载：1287/177 | 提交时间：2011/08/31 |
| 一种化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 段瑞飞 ; 曾一平; 王军喜; 冉军学; 胡国新; 羊建坤; 梁勇; 路红喜; 李晋闽
Adobe PDF(392Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1580/272 | 提交时间：2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽
Adobe PDF(510Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1332/239 | 提交时间：2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
Adobe PDF(417Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1328/254 | 提交时间：2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
Adobe PDF(299Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1370/258 | 提交时间：2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽
Adobe PDF(341Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1460/273 | 提交时间：2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽
Adobe PDF(427Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1374/260 | 提交时间：2011/08/31 |
