中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 井红旗; 王翠鸾; 吴霞; 赵懿昊; 王鑫; 林楠; 仲莉; 刘素平; 马骁宇 Adobe PDF(5212Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：507/7 \| 提交时间：2017/03/16
	无权访问的条目期刊论文作者: 严清峰; 余金中; 刘忠立 Adobe PDF(235Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：970/408 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 魏红振; 余金中; 张小峰; 刘忠立; 史伟; 房昌水 Adobe PDF(195Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：755/272 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 魏红振; 余金中; 刘忠立; 王启明 Adobe PDF(376Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1187/521 \| 提交时间：2010/11/23

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