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用气相成核与固相外延在蓝宝石上外延硅单晶膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 1991
作者:  刘中林
Adobe PDF(2037Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：661/6  |  提交时间：2009/04/13