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采用CH4/H2混合气对InP进行反应离子腐蚀的研究 期刊论文
半导体学报, 1991, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 231
Authors:  李建中;  陈纪瑛
Adobe PDF(212Kb)  |  Favorite  |  View/Download:992/241  |  Submit date:2010/11/23