中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 邵刚; 刘新宇; 和致经; 刘健; 魏珂; 陈晓娟; 吴德馨; 王晓亮; 陈宏 Adobe PDF(207Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：949/346 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 陈晓娟; 刘新宇; 和致经; 刘键; 邵刚; 魏珂; 吴德馨; 王晓亮; 周钧铭; 陈宏 Adobe PDF(417Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1122/304 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 王健华; 金峰; 俞谦; 孙可; 李德杰; 蔡丽红; 黄绮; 周钧铭; 王玉田; 庄岩 Adobe PDF(370Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1073/266 \| 提交时间：2010/11/23

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