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金属有机物化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12
发明人:  段瑞飞;  王军喜;  王国宏;  曾一平;  李晋闽
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Guo X (Guo Xi);  Wang H (Wang Hui);  Jiang DS (Jiang De-Sheng);  Wang YT (Wang Yu-Tian);  Zhao DG (Zhao De-Gang);  Zhu JJ (Zhu Jian-Jun);  Liu ZS (Liu Zong-Shun);  Zhang SM (Zhang Shu-Ming);  Yang H (Yang Hui);  Guo, X, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: guox@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Guo X (Guo Xi);  Wang YT (Wang Yu-Tian);  Zhao DG (Zhao De-Gang);  Jiang DS (Jiang De-Sheng);  Zhu JJ (Zhu Jian-Jun);  Liu ZS (Liu Zong-Shun);  Wang H (Wang Hui);  Zhang SM (Zhang Shu-Ming);  Qiu YX (Qiu Yong-Xin);  Xu K (Xu Ke);  Yang H (Yang Hui);  Guo, X, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: guox@semi.ac.cn
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