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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Luo, J;  Gong, JH;  Zhang, XY;  Ji, A;  Xie, CS;  Zhang, TX
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The ICP etching technology of 3C-SiC films 会议论文
INTERNATIONAL MEMS CONFERENCE 2006, 34: 511-515 2006, Singapore, SINGAPORE, MAY 09-12, 2006
作者:  Ning J (Ning Jin);  Gong QC (Gong Quancheng);  Sun GS (Sun Guosheng);  Liu ZL (Liu Zhongli)
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