中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	磷化铟表面清洁方法专利专利类型: 发明, 申请日期: 2000-08-23, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 谭满清; 茅冬生 Adobe PDF(263Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1012/171 \| 提交时间：2009/06/11
	砷化镓表面清洁方法专利专利类型: 发明, 申请日期: 2000-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 谭满清; 茅冬生 Adobe PDF(179Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1130/183 \| 提交时间：2009/06/11

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