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金属有机物化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12
发明人:  段瑞飞;  王军喜;  王国宏;  曾一平;  李晋闽
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei TB (Wei Tongbo);  Wang JX (Wang Junxi);  Liu NX (Liu Naixin);  Lu HX (Lu Hongxi);  Zeng YP (Zeng Yiping);  Wang GH (Wang Guohong);  Li JM (Li Jinmin);  Wei, TB, Chinese AcadSci, InstSemicond, Semicond Lighting Technol Res &DevCtr, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: tbwei@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ji Xiaoli;  Yang Fuhua;  Wang Junxi;  Duan Ruifei;  Ding Kai;  Zeng Yiping;  Wang Guohong;  Li Jinmin
Adobe PDF(262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1203/333  |  提交时间：2011/08/16